Das Institut für optische Telekommunikationsforschung beauftragt ein Ionenstrahl-Sputtersystem mit der Herstellung von Laserfacettenbeschichtungen und mikrooptischen Geräten.
HHI wird die IBS-Technologie von Veeco verwenden, um Laserfacettenbeschichtungen zu erstellen.
Veeco Instruments hat angekündigt, das Spector Ion Beam Sputtering (IBS) -System und das Sirius Optical Monitor System an die Fraunhofer-Institut für Telekommunikation(HHI).
Das in Berlin ansässige Institut wird diese IBS-Technologie „zur Entwicklung und Herstellung von Laserfacettenbeschichtungen und anderen mikrooptischen Geräten“ einsetzen.
„Die Entwicklung hochentwickelter mikrooptischer Geräte erfordert eine außergewöhnliche Sputtertechnologie“, kommentiert Greta Ropers, Leiterin der Backend- und Verpackungsgruppe bei Fraunhofer.
"Das Spector-System von Veeco wird in Verbindung mit dem Sirius OMS sicherstellen, dass wir erstklassige Geräte mit dem höchsten Durchsatz und der höchsten Prozesswiederholbarkeit auf einer automatisierten, etablierten Plattform entwickeln und produzieren."
Optische Dünnfilme
Die Spector-Plattform erzeugt laut Kunden hochwertige optische Dünnfilme mit verbesserter Produktivität und verbessertem Durchsatz. Im Gegensatz zu Verdunstungsbeschichtungen werden mit Ionenstrahlen gesputterte Dünnfilme bei hohen Energien abgeschieden, was eine außergewöhnliche Dickenkontrolle und niedrige Defektdichten für Laserbeschichtungsanwendungen ermöglicht. Das Sirius OMS verbessert die Fähigkeit der Spector-Plattform durch Kopplung der Breitbandüberwachungssteuerung mit der Stabilität von Ionenstrahl-abgeschiedenen Filmen .
"Der Fraunhofer HHI ist weltweit führend in der Entwicklung von Laserfacettenbeschichtungen und mikrooptischen Geräten der nächsten Generation", sagte Dr. Adrian Devasahayam, Vice President und General Manager des Advanced Deposition and Etch (AD & E) -Geschäfts von Veeco. "Das Spector-System bietet beispiellose Qualität und Flexibilität für die präzise optische Beschichtung von Dünnfilmen und beschleunigt deren Entwicklungsziele."
Die Finanzierung für dieses Projekt wurde von der Forschungsfabrik Mikroelektronik, eine standortübergreifende Forschungsfabrik für Mikroelektronik und Nanoelektronik, die elf Institute der Fraunhofer-Gruppe zusammen mit den Innovationen für Hochleistungsmikroelektronik und dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, kompromittiert. Das System wurde in Zusammenarbeit mit dem europäischen Vertriebspartner von Veeco verkauft.Veonis Technologies.
Beitragszeit: 31.10.2019